EMAX-5770

Report
H-7650透過型電子顕微鏡
使用方法
精密分析室
2013/9/18
目次
始動
GUNの真空を確認
電圧を印可し、ビームを出す
電子線のセンタリング
試料のZ位置の調整
LaB6フィラメントのガス出し
電圧を印可し、ビームを出す2
コンデンサー絞りの調整
試料交換
試料ホルダー位置あわせ
取り出し方
電子銃の調整
試料交換
電圧中心のあわせ方
入れかた
焦点あわせ
ワブラによる焦点あわせ 対物レンズの非点補正 回折スポットを中心にする方法
写真撮影
観察終了(試料交換時) 使用終了
青字は通常は必要ない
全停止
保守作業
終了
2
アイコンの説明
Image viewer EM viewerの表示
Transmission image SSCCD画像の表示
Stage
ステージコントロール
View Easy operationの切替
HV control 加速電圧の設定
Modulation モジュレーションの設定
Wobbler ワブラの設定
PDS パーソナルデータセット
EVAC 排気系状態表示
LENS CONTROL LENS電流の表示・制御
BD CONTROL BD電流の表示・制御
Filament / Bias フィラメント/バイアスの設定
OBJ stigma preset 対物スティグマの記憶・読み出し
Lens 観察モードの設定/変更
Specimen search
Magnification 倍率/カメラ長の拡大表示
Digital AMF 連続画像記録機能
Focus step フォーカスステップの設定
Digital low dose ダメージ低減機能
Auto focus 自動焦点あわせ機能
API 試料予備照射機能
3
始動
1.冷却水を2系統(真空排気系・レンズ冷却用)
を流す
2.POWERキーをEVAC ONまで回す
3.約20~30分で高真空状態になり
COLUMN EVAC,GUN EVAC,CAMERA EVACのスイッチがグリーンに
点灯する
ここまでの操作は通常は連続
運転しているので不要
4.電源スイッチキー COL ONにする
システムが自動で起動します
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4
GUNの真空を確認
1.EVACウィンドウ
をクリック
3.0E-03Pa以下を確認
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5
LaB6フィラメントのガス出し
しばらくビームを出さない状態が続いたときは、LaB6フィラメントのガス出しを
行ってください。(通常は必要ありません)
1.Function Maintenance のLaB6 out gusを呼び出す
時間を設定 フィラメント交換後は最低2時間
通常は30分以上に設定
フィラメント固有値
2.必要に応じてコールドトラップに液体窒素を入れてください
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6
電圧を印加しビームを出す
1.Acc Voltage control
を表示
2.Preset値を確認して、
HV ONボタンをクリックまたは、パネ
ルスイッチのHVボタンを押す
通常は自動的にビームがでる
LaB6フィラメントのため5分かかります
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7
PDS (Personal data set)から起動する方法
(レンズ系、BD系の記憶されているモード)
通常はあまり使いません
1.PDS(Personal data set)
ウィンドウを表示
2.記憶しておいた条件を選択し、Loadしビームを出す
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8
電子線のセンタリング
2.LENS RESETを押す
1.左操作パネルのZOOM1を押す
5.BHを押してマルチノブで電子
線を中心にもってくる
3.MAGで倍率をx5000程度にする
4.BRIGHTで電子線をスポット状に
する
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9
コンデンサー絞りの機械的調整と非点補正
BRIGHTを変えると中心がずれたり、ゆがんだりするときのみ
1.コンデンサー絞りを入れ、BRIGHTで
変化しても中心が変わらないよう絞りの
X,Yノブで調整する
2.CSボタンを押し、BRIGHTの変化で中心
から均等に変化するようX,Yノブで調整
3.終わったらCSボタンを解除
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10
電子銃の調整
ビームが暗くなった場合
1.BRIGHTノブで電子線をスポット状にする
2.Filament/Bias
ウインドウを開き、矢印ボタンでフィラメントの2Vほど電圧を下げる
3.BD control
ウインドウでGTをチェックしてマルチノブでフィラメント像が均等になる
よう調整する
4.ビームが逃げたらGHをチェックしてマルチノブでビームを中心にする
5.終わったらGT、GHを解除してウインドウを閉じる
6.Filament/Biasウインドウの矢印ボタンで元の電圧に戻す
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11
試料のZ位置の調整
1.LENS RESETを押しレンズデータをリセットする
1.は電子線のセンタリング調整ですんでいればしなくて良い
2.倍率を20000倍程度にしてZコントロールノブでピントを合わせる
これで機械的Z位置があいます
この操作は必ずFOCUSをあわせる前に行なってください
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12
試料交換(取り出し方)
1.Stage
から試料位置を
X=0,Y=0位置に戻す
STARTを押す
2.Filament-Bias control
から
Beam をOFFにする
3.試料ホルダーを止まるまで引き抜き、時計方向に
時計方向に15°止まるまで回す
4.止まったら、反時計方向に45°止まるまで回す
5.試料予備排気室をAIRにすると赤ランプが点灯
する
6.試料ホルダーを引き抜く
注:赤ランプが点灯している間にホルダーを引き抜く、消えてしまった
らもう1回EVACにしてからAIRにする
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13
試料交換(入れ方)
1.試料ホルダーのガイドピンの位置をあわせとまるまで挿入
するとAIRの赤ランプが点灯する
2.排気スイッチをEVACにする
3.排気が完了すると赤ランプが消え、緑ランプが点灯して試料
ホルダーロック機構が解除されるので、次に進む
注:緑ランプが消えると(15秒経過すると)次に進めません、
その際は一度AIRにしてから再度EVACにしてください
4.ホルダーを時計方向に45°止まるまで回す、この時試料
ホルダーが鏡体に引き込まれるので、ゆっくり止まる位置
まで挿入する
5.止まった位置で反時計方向に15°回して、止まる位置まで
挿入する
使用状態ではランプは消えています
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14
試料ホルダー位置あわせ
をクリックしStageパネルを表示
標準ホルダーの場合は7501SSを選択
マルチホルダーは7502MSを選択する
マルチホルダーのときは1,2,3
いずれかを選択する
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15
電圧中心のあわせ方
1.倍率を5000~10000倍にする
2.右パネルのMODUを押す
3.BTが点灯していなかったら
BTを押す
4.像全体が中心で動くよう
にマルチノブで調整する
5.終わったらBHを押し、ビーム
を中心にもってくる
6.MODUを押して電圧中心あわせをおわる
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16
焦点あわせ
1.DIFFを押し、電子回折像を出し、対物絞りを入れる
(ダイレクトスポットを中心として同心円状になるように)
2.焦点あわせはFOCUSノブで
行う x1,x10,x20,
x200が選択できる
3.ルーペで観察するときは
SPOTボタンを押し小蛍光板
で行う
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17
ワブラによる焦点あわせ
1.Wobbler condition
ウインドウを表示
2.Wobblerのラジオボタンをクリックする
3.右操作パネルのWOBをクリックする
4.Focusノブを回して像が静止
したところを見つける
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18
対物レンズの非点収差補正
1.右操作パネルのOSスイッチを押す
2.FOCUSをあわせる
3.マルチノブでフリンジ幅が
等しくなるように調整する
4.この状態でBDPSスイッチを
押すとメモリされます
5.メモリ値を読み出すにはBD RESETを押す
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19
回折スポットを中心にする方法
1.制限視野絞りを入れ、DIFFを押して回折像をだす
2.BD control
ウインドウでPAをチェックしてPL(プロジェクションレンズ)アライメント
調整モードにする
3.ダイレクトスポットをマルチノブで中心にする
5.終わったらPAを解除してウインドウを閉じる
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20
写真撮影
保存は適当なディレクトリを作成し保存してください。
なお、データはパソコンに残さないでください。
1.カメラに切り換えるときはWHOLEを
押して蛍光板をあげる
3.保存後カメラ
に切り換え
2.画像取込は
ポーズで
画像保存は
File/Save asから
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21
観察終了(試料交換するとき)
1.Stage
から試料位置を
X=0,Y=0位置に戻す
STARTを押す
2.Filament-Bias control
から
Beam をOFFにする
3.試料交換がないときは
AccVotagecontrol
から電圧を下げる
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22
使用終了
キースイッチを EVAC ONまで戻す
PCのスイッチをON/OFFは不要です
ソフトウエアの以下のメッセージがでたら
Cancelをクリックしてください。
COL.OFFは制御ソフトが立ち上がっている状態で
電源のキースイッチで操作してください
System message
Exit H-7650 system. Are you sure?
Please turn off Col-sw after completely finishing PC
OKボタンを押してしまったら、電源のキースイッチ
操作をせず、COL ONのまま制御ソフトを立ち上げ
直してから、COL.OFF操作を実施してください
通常はここまでです
装置全停止
POWERをOFFにする
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23
電源スイッチをEVAC OFFの位置まで回してしまった場合
COL.ONの位置まで戻し制御ソフトを立ち上げ直してからCOL.OFF操作をしてください。
EVAC ONの位置のままだと、タイマーが動作し、約2分後にCOL電源をOFFにします。
タイマーが終了するまでにWindowsのシャットダウン操作をしてください。
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保守作業
CCDカメラにゴミが付着した場合
1.試料がないところにもって行く
2.赤い波形をBRIIGHTつまみで中央
にもっていく
3.Executeを押しAcquireを押すと
電気的に取り除いてくれる
25

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