How To Use SEM

Report
How To Use SEM
2007March
Kojima
付属の説明書もしっかり読むこと
細かい点はDVDを参照してください。
1
日常点検事項 1
窒素ボンベの圧力
2次圧= 0.35~0.5 MPa
冷却装置 水温=
20±5 ℃
水の量は大丈夫?
冷却装置はB電源をONに
したとき(観察時)に動作
する。
UPS装置
2
日常点検事項 2 (真空系)
バルブの状態(通常)
ペニングゲージ
= Low 側で振り切れ
イオンポンプ
GUN= 2E-8 Pa
INT = 4E-8Pa
3
スイッチ類の場所
STIGMATOR
走査速度
FOCUS
倍率調整
FREEZE
二次電子像
明るさコントラスト
PROBE
4
スイッチ類の場所
フラッシングSW
COMP TOPO
明るさコントラスト
ALIGNMENT
SEI COMP
TOPO 選択
(X,Y)つまみ
引出電流リセット
WOBBLER
加速電圧SW
5
スイッチ類の場所
可動絞りノブ
X
Y
イオンポンプ
試料交換棒
6
スイッチ類の場所
Xステージの粗動つまみ
X,Yステージ (微
動)
7
スイッチ類の場所
V7CLOSE
明 強制CLOSE
暗 ACC Vと連動
B電源スイッチ。
上がON(キースイッチが連動)
下がOFF(真空系だけ維持)
8
電源を入れるとき
B電源スイッチを上に
(電源を切るときは下げる)
キースイッチをSTARTへ
回して手を離す
9
基本画面
キーボードのPF1を押すとこの画面に戻る
加速電圧が切れているのを確認する。
10
観察準備
キーボードのPF2を押して設定画面を表示
テンキー1,2,3,4押すとEOS-1~4がそれぞれ表示される。
11
試料交換その前に...
①ステージを必ずX = 1.20, Y= 1.20 に戻す。
② 加速電圧が切れているの
を確認する。
③ V7が閉じていることを確認
する。
④ 傾斜がかかっていないことを確認。
12
試料交換 試料を出す
① 試料交換棒を止まるところまで引っ張る。
② 手前に止まるところまで回転させてさらに引き抜く
③ 交換棒をホルダに置く
13
試料の交換
① ストッパーを外して試料ホルダを取り出す
② 試料ホルダを入れてストッパーを押して固定する
14
試料の挿入
① 試料ホルダがしっかり固定されているか確認。
② 交換棒をガイドに合わせて止まるところまで挿入する。
③ ロータリポンプでの粗引きが開始(EVACランプ点灯)
④ EVACランプが消灯するのを確認して棒を奥に回転させ
てさらに止まるところまで挿入する。
⑤ ペニングゲージで圧力が良くなる(1 E-4Pa)まで待つ
15
二次電子像の観察
① 加速電圧(0.5 kV~15 kV)を設定入力する。
カーソルを合わせてINSキーで入力
② ACC ACCELボタンをONにして加速電圧を印加す
る。電子銃からの引き出し電流が8.0μAになるまで
待つ。(EXTRACT V =7~8 kVでGUN交換)
③ V7CLOSEを解除して(暗灯)像を出す。
④ FOCUSを合わせて像を観察する(続いて軸調整)。
16
軸調整(3項目)ゴミみたいな目標物を見つける。
① 倍率×5000でGUN Alignment
CL(Probe Current)=8→4にした時に像の動きが最小と
なるようにGun Alignment(X,Y)で動いた分だけ戻す。こ
の作業を繰り返して動きを最小にする。
② 倍率×10000でOL-AP調整
CL =5にしてEOS-2画面でHRをALCL2にする。ここで像
が上下左右に移動したら移動が最小となるように可動絞り
X、Yノブで調整する。終わったらHRに戻す。
③ CL調整
EOS-1でGUNをCLにする。WOBBLERボタンを押して
像の移動が最小となるようにGun Alignment (X,Y)で調
整する。
17
FOCUS合わせ
① FOCUS調整
前項の軸調整が済んだらFOCUSを合わせる。
② その状態でさらにSTIGMATOR(X,Y)で最もFOCUS
が合うところを探す。
以上で調整終わり、XYステージで目的の場
所を観察する。
さらに高倍率で見たいときでFOCUSだけではきれい
な像が見られないときはその倍率で前項の軸調整(3
項目)を再び行う。
18
像の撮影
① 軸調整、FOCUS合わせは終了しているとして
② SCAN SPEEDをSLOWにして画像を撮る。(右画面)
撮り終えたらFREEZEボタンで像を止める。
この画像をキャプチャする。
19
反射電子像の観察準備
二次電子像で前項までの各調整が終わっている状態で
行うこと。加速電圧は5 kV以上
① 傾斜の確認(超重要!!)
傾斜がかかっていると検出器と衝突するので必ず傾斜を
0°に戻す。
② V7CLOSEボタンを明灯させてバルブを閉じる。
③ 反射電子検出器の挿入
検出器のロックを解除(奥側へ回転)して鏡筒内部へ挿
入する。このとき真空で入っていくので徐々に入れる。
④ V7CLOSEボタンを暗灯させてバルブを開ける。
20
反射電子像の観察
① 操作パネルのCOMPO、TOPOボタンを押して観察。
② SCAN SPEEDはSLOWで行う。(信号量が少ないから)
③ 反射電子像用のCONTRAST BRIGHT 調整つまみ
で明るさ、コントラストを調整する。
第二CRT(右モニタ)には設定画面が移りこんでいる
のでキーボードのPF1ボタンで消すことも可能。
21
反射像の終了
反射像を使わないとき、観察を終了する前には必ず検出器
を抜く!!
① V7 CLOSEボタンを明灯させてバルブを閉じる。
② 検出器を止まるところまで引っ張る。
③ 手前に回転させてロックをかける
22
観察を終了するとき
① 反射電子検出器が抜いてあることを必ず確認。
② ACC VOLTAGEボタンを押して(消灯)加速電圧を切る。
③ V7CLOSEボタンを明灯させてバルブが閉まっていること
を確認する。
④ キーボードのPF1を押して基本画面に戻る。
⑤ B電源スイッチを下に下ろして真空系だけ動かしたまま電
源を切る。(キースイッチはONのままで良い)
⑥ 約5分後に冷却水装置が停止する。
23
帰るときは安全確認
点検事項を確認する。さらに、
1.反射電子検出器は抜いてる?
2.V7はCLOSEか?
3.ペニングゲージはOKか?
4.GUN、INTの真空度はOK?
5.水漏れは無いか?
24
日々のメンテナンス
・150時間に1回 強制フラッシング
・冷却水の水量チェック
・1年に1回 ターボ分子ポンプのバッテリー
交換(JEOLに注文)
・1年に1回 イオンポンプ用非常電源バッ
テリー(自動車用で良い、24V36Ah)交換
・ロータリポンプ用油チェック(JEOLに
注文)
25
緊急時は
・ 加速電圧を切る。
・ V7CLOSEでバルブを閉める。
・ キースイッチをOFFにして装置全体を止める。
日本電子総合コールセンターへ
0120-134-788
装置名 JSM-6000FS
型名
162003-0005
26

similar documents