EMAX-5770

Report
S-4500電界放出型走査電子顕微鏡
使用方法
精密分析室
2013/8/28
目次
3 準備・始動
4
試料の準備
9 電子線の発生
11 二次検出器の選択
13 対物レンズ絞りの位置調整
16 非点収差補正
17
挿入
22 保守
12 画像の明るさの調整
14 軸出し調整
15 フォーカスの調整
対物レンズの電流中心の調整
18 低倍率・画像ローテーションモード
21 停止操作
二次電子像の観察
8
19
画像保存
23 停電時および装置完全停止
24 停電復帰後および装置立ち上げ時
終了
2
準備・始動
3 IP1 IP2 IP3 ランプが点灯している
2 DP/TMP,WATER,AIR PRESSランプが点灯している
5 DISPLAY POWER
スイッチをON
1 EVAC POWERスイッチがオンになっている
4 IP1 IP2 IP3各真空度が下記値以下であること
IP1・・・1.5X10-7Pa
IP2・・・2X10-6Pa
IP3・・・7X10-5Pa
3
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試料の準備 挿入
1 試料を準備し必要に応じて金をコーティングする
など導電化処理をする
2 試料を試料台に固定し、治具と同じ高さになるよう
調整して、ローレットがきってあるネジで固定する
3 高圧が印可されている場合はHVをOFF
4 SPECIMEN STAGEがFREEになっているこ
とを確認
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4
5 試料微動装置のX,Y,R,T,Zを試料交換位置にする
Z軸
R 回転
Y軸
T 傾斜
X軸
6 試料交換室(SEC)が真空排気されて
いることを確認 緑点灯
7 SC/SECスイッチがSEC側になっている
ことを確認
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5
8 SC/SECスイッチがSEC側になっていることを確認して、
AIRを押し試料交換室をリークする
9 SEC VALVEのOPENランプが
点灯すると同時に試料室内
のランプが点灯
OPEN 点灯
点滅
CLOSE 点灯
点滅
MV-1が開いているとき
MV-1がCLOSEのときで且つ開けて良い状態のとき
MV-1が閉じているとき
MV-1がOPENのときで且つ閉じるべき状態のとき
10 エアーロックレバーをO(OPEN)の位置にする
11 試料交換室を開け試料を交換棒に取り付ける
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6
12 EVACを押して試料交換室の真空を引く
13 SEC /VACUUM の
表示ランプHIGHが点灯する
14 5分ほどしたら
MV-1をO(OPEN)にする
15 試料交換棒を押し込み、微動装置にホルダをセットし、
試料交換棒のみ抜き取る
16 MV-1をC(CLOSE)にする
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7
二次電子像観察
RUN/STOPはRUNに(ランプ点灯)
MODE CONTROLはNORMALに
SCAN SPEEDはTVに
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MAGNIFICATIONは左回転で最低倍率に
8
電子線の発生
加速電圧を設定する PF1を押し任意の加速電圧を入力(上限は20kV 通常は15kV)
数値入力 –ENTER--EXIT
SC VACUUM のHIGH(緑)が点灯していることを
確認して SC AIRLOCK VALVEをAUTO(OPEN)
にする。この操作によりHV(ON)スイッチに連動
してAIR LOCK VALVEが開く
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9
HV READYが緑点灯していることを確認
フラッシングのメッセージがでたら
フラッシュ操作 通常は不要 通常8~12時間経過
ごとに行う、またFRASHの警告がでたとき
加速電圧の印可HV(ON)
を押すと加速電圧が印可
されると同時にエアロック
バルブが開く
2であることを確認
通常は確認の
必要はない
高圧OFFの状態にして
FLASH STANBYを押す
ランプが点滅状態になる
その後HV ONスイッチを
押す
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10
二次検出器の選択
二次電子検出器には Upper とLowerがあり、通常高倍率にはUpper を
低倍率ならば Lowerを使用する
Lower検出器:スロースキャンでもチャージ
アップしにくくなります
変更方法
1.PF2を押しE/O COLUMN CONDITION 1画面を出す
2.
で8を選択して SE Detect
でどちらかを選ぶ
3.ENTER EXITで終了
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11
画像の明るさの調整
自動調整
ABC切換SWを+(真ん中)にする
ビームモニタ電圧が適正範囲をはずれたとき点滅
ABCSWで自動調整をしてください
ABCSWを押すと5秒程度で適当なコントラストになる
画面上波形をみながら信号波形が最高値と最低値
の中に収まるようにすれば適正です
手動調整
自動調整のコントラストを基点として
BRIGHTNESS 及びCONTRAST の
調整する
を押し
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12
対物レンズ絞りの位置調整
通常は必要ない
1 倍率を1万倍程度にする
2 PF3のApert.Alignを選択
ON/OFFの切換はキーボードの
で
STG/AL2を押しても
Apert.Alignに切り
換えることができる
3 対物レンズ絞りのX Y軸微調整を動かし
像の動きが最小になるよう調整する
絞りの大きさの調整、クリックで止まり大きさが選べる
X軸微調整
Y軸微調整
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13
軸出し調整
加速電圧を変更したときや、画像が暗くなってしまったときに行います
1 PF3キーを押しBeam Alignを
で選択する
2 ENTERキーを押すと対物絞りの円形の像が見える
これを画像の中心にくるようSTIGMA/ALIGHNMENT
X Yつまみで調整する 終わったらEXITキーを押す
Beam Alignモードのとき点灯
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14
フォーカスの調整
自動調整
(ほとんど像が見えないほどフォーカスがずれているとき)
SEARCHスイッチをおし、続けてAUTOスイッチを押すと
数秒後にフォーカス調整された像が表示される
ブザーが鳴った場合は自動調整がうまくいかなかった
ときです
SEARCHスイッチを押すと画面は波形表示になり
フォーカスがあったとき波形の変化が最大になる
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15
非点収差補正
AUTO(STIGM)自動で非点補正をする
非点収差がない場合 フォーカスで均一にぼやける
アンダーフォーカス
最良点
オーバーフォーカス
非点収差がある場合 フォーカスで不均一にぼやける
STIGMA/ALIGNMENT X Y
注:非点補正をするときはフォーカス
をあわせながら調整する
ぼけの方向が違ってくる
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16
対物レンズの電流中心の調整
フォーカス調整により像が移動するときは対物レンズの電流中心がずれています
1 1万倍くらいで目立ちやすい部分をだします
2 STG/AL2スイッチを押してApert.Alignモードにする
3 STIGMA/ALIGNMENT X Yで像の動きが最小になるよう
調整する 終わったらSTG/AL2モードを解除する
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17
低倍率モード・画像ローテーションモード
スキャン方向を回転するときONにして任意に回転
DYNAMIC FOCUSモード 取説6-1-3参照
試料傾斜角度が大きくなると、対物レンズから試料までの距離が、試料の位置により
変化するため、視野の一部しかピントが合わなくなります。電子ビームの走査と同期
して、対物レンズの焦点距離を変化させ試料全面にピントを合わせます。
LOW MAGモード(最低20倍までできる)
傾斜試料の補正をするとき(像のひずみ補正)
使用しないときは必ずOFF
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18
Windows8からの画像保存方法
LightCaptureを起動する
設定でファイル形式、保存場所、名前を指定
静止画をクリックで保存
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19
USBの取り出し方
保存が終わるとピクチャー
画面になるので
左上コーナーをクリックし
てデスクトップ画面に戻る
Windows8の終わり方
カーソルを画面右上から外にずらすとメニューが出ます
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20
停止操作
必要に応じて試料を取り出し、試料交換室は真空にしておく
SC AIR LOCK VALVEスイッチをCLOSEにする
HV (OFF)スイッチを押して
電子線停止
DISPLAY POWERスイッチを切る
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21
保守
対物絞りの交換 試料を落下させたときの方法
1 HVをOFFにする
2 S.C AIR LOCK VALVEをCLOSEにする
4 排気操作パネルSC/SECをSCにする
3 対物絞りの加熱SWをOFFにする
(真ん中がOFFの位置)
30分程度まつ
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22
5 排気操作パネルのAIRを押す
6 エアーロックレバー(MV-1)をO側にする
数分後の試料室が大気圧になる
7 落下試料を取り出すときは、
試料移動装置を4本のネジを
ゆるめてゆっくり引き出す
終わったら戻す
8 排気操作パネルのEVACを押す
10 SC/SEC スイッチをSECにする
9 数分後にSEC VALVEのCLOSEランプが点滅しはじめたら
エアーロックレバーをCにする
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23
11 SCランプが緑になった完了です
12 対物絞りのHEATスイッチを
DEGASにして1時間位おく
13 対物絞りのHEATスイッチをONにする
真空を破って最低3時間ぐらいしてから高圧を印可する
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24
停電時および装置完全停止
1. S.C AIRLOCK VALVEをCLOSE
2. DISPLAY POWERをOFF
3. EVAC POWERをOFF
4. イオンポンプ電源のIP POWER,EVAC POWER,DISPLAY POWERスイッチをOFF
5. IP1,IP2,IP3スイッチをOFF
6. MAINスイッチ
OFF
7. 15分後に水を止める
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25
停電復帰後および装置立ち上げ時
1. 水を流します
3. IP1,IP2,IP3スイッチをON
2. 白いボタンを押しPUSHスイッチを押しながら
MAINスイッチをON
4. イオンポンプ電源のIP POWER,EVAC POWER,DISPLAY POWERスイッチをON
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26
5. APATUREを真ん中のOFFにする
6. EVAC POWERをON
7. SC/SECをSCにしEVACをON
この時コンプレッサーの圧力が低いため 15分でDP/TMPが点灯します
警報が鳴ります(しばらくすると止まる)
8. 試料交換装置のエアーロックレバーをOにする
数分後SEC VALVE のCLOSEランプが点滅を始めたら
エアーロックレバーをCにする
9. SC/SECスイッチをSECにする
10. IP-1,IP-2,IP-3が起動しないときはIP-1,IP-2,IP-3
のRESETスイッチを数秒押す
11. 十分真空が良くなったらAPATUREをHEATにする
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27

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