PK-1500 Technical data sheet

Report
PK-1500 Technical data sheet
KOLON Central Research Park
Electronic Materials Research Institute
2010. 11.
"본 문서는 코오롱인더스트리㈜의 영업비밀 등이 포함된 중요문서이므로 취급에 주의하여야 하고, 본사의 사전동의 없이 무단 유출, 전송 등 기타의 방법으로
“허가를 받지 않은 제3자에게 유출되었을 때에는 부정경쟁방지법, 형법, 민법 등 관련법규에 따라 엄한 법적 제재를 당할 수가 있음을 고지합니다."
[Confidential : Properties of KOLON Inds, Inc.]
General Properties
sst / 21sst
PK-1540
PK-1550
Minimum developing time (sec.)
24
29
6 sst
12
13
7 sst
17
20
8 sst
22
27
9 sst
33
38
10 sst
47
55
6 sst
25
30
7 sst
29
32
8 sst
30
33
9 sst
35
39
10 sst
41
48
6 sst
34
46
7 sst
29
33
8 sst
25
32
9 sst
23
30
10 sst
20
23
6 sst
30
45
7 sst
28
38
8 sst
27
35
9 sst
30
38
10 sst
40
45
Exposure Energy (mJ/cm2)
Resolution (μm)
Adhesion (μm)
1/1 Resolution(μm)
"본 문서는 코오롱인더스트리㈜의 영업비밀 등이 포함된 중요문서이므로 취급에 주의하여야 하고, 본사의 사전동의 없이 무단 유출, 전송 등 기타의 방법으로
“허가를 받지 않은 제3자에게 유출되었을 때에는 부정경쟁방지법, 형법, 민법 등 관련법규에 따라 엄한 법적 제재를 당할 수가 있음을 고지합니다."
[Confidential : Properties of KOLON Inds, Inc.]
2
Exposure Energy vs. Sensitivity
Exposure Energy
(mJ/cm2)
SST / 21SST
PK-1540
PK-1550
6 sst
12
13
7 sst
17
20
8 sst
22
27
9 sst
33
38
10 sst
47
55
PK-1540
PK-1550
60
(mJ.cm2)
Exposure Energy
80
40
20
0
5
6
7
8
9
10
11
Sensitiv ity (21/sst)
Test Conditions
• Test Artwork : KOLON Test Artwork(Glass Mask)
• Lamination : 110 °C, 4kg/cm2, 2.0m/min
• Exposure : 5Kw, collimated light
• Development : 1.0wt% Na2CO3, Temp. 30 °C, Break Point 50%, Spray Pressure 1.5kg/cm2
"본 문서는 코오롱인더스트리㈜의 영업비밀 등이 포함된 중요문서이므로 취급에 주의하여야 하고, 본사의 사전동의 없이 무단 유출, 전송 등 기타의 방법으로
“허가를 받지 않은 제3자에게 유출되었을 때에는 부정경쟁방지법, 형법, 민법 등 관련법규에 따라 엄한 법적 제재를 당할 수가 있음을 고지합니다."
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3
Resolution
Resolution
(um)
SST / 21SST
PK-1540
PK-1550
6 sst
25
30
7 sst
29
32
8 sst
30
33
9 sst
35
39
10 sst
41
48
PK-1540
PK-1550
40
(um)
Resolution
60
20
0
5
6
7
8
9
10
11
Sensitiv ity (21/sst)
Test Conditions
• Test Artwork : KOLON Test Artwork(Glass Mask)
• Lamination : 110 °C, 4kg/cm2, 2.0m/min
• Exposure : 5Kw, collimated light
• Development : 1.0wt% Na2CO3, Temp. 30 °C, Break Point 50%, Spray Pressure 1.5kg/cm2
"본 문서는 코오롱인더스트리㈜의 영업비밀 등이 포함된 중요문서이므로 취급에 주의하여야 하고, 본사의 사전동의 없이 무단 유출, 전송 등 기타의 방법으로
“허가를 받지 않은 제3자에게 유출되었을 때에는 부정경쟁방지법, 형법, 민법 등 관련법규에 따라 엄한 법적 제재를 당할 수가 있음을 고지합니다."
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4
Adhesion
Adhesion
(um)
SST / 21SST
PK-1540
PK-1550
6 sst
34
46
7 sst
29
33
8 sst
25
32
9 sst
23
30
10 sst
20
23
PK-1540
PK-1550
40
(um)
Adhesion
60
20
0
5
6
7
8
9
10
11
Sensitiv ity (21/sst)
Test Conditions
• Test Artwork : KOLON Test Artwork(Glass Mask)
• Lamination : 110 °C, 4kg/cm2, 2.0m/min
• Exposure : 5Kw, collimated light
• Development : 1.0wt% Na2CO3, Temp. 30 °C, Break Point 50%, Spray Pressure 1.5kg/cm2
"본 문서는 코오롱인더스트리㈜의 영업비밀 등이 포함된 중요문서이므로 취급에 주의하여야 하고, 본사의 사전동의 없이 무단 유출, 전송 등 기타의 방법으로
“허가를 받지 않은 제3자에게 유출되었을 때에는 부정경쟁방지법, 형법, 민법 등 관련법규에 따라 엄한 법적 제재를 당할 수가 있음을 고지합니다."
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5
1/1 Resolution
1/1 Resolution
(um)
SST / 21SST
PK-1540
PK-1550
6 sst
30
45
7 sst
28
38
8 sst
27
35
9 sst
30
38
10 sst
40
45
PK-1540
PK-1550
40
(um)
1/ 1 Resolution
60
20
0
5
6
7
8
9
10
11
Sensitiv ity (21/sst)
Test Conditions
• Test Artwork : KOLON Test Artwork(Glass Mask)
• Lamination : 110 °C, 4kg/cm2, 2.0m/min
• Exposure : 5Kw, collimated light
• Development : 1.0wt% Na2CO3, Temp. 30 °C, Break Point 50%, Spray Pressure 1.5kg/cm2
"본 문서는 코오롱인더스트리㈜의 영업비밀 등이 포함된 중요문서이므로 취급에 주의하여야 하고, 본사의 사전동의 없이 무단 유출, 전송 등 기타의 방법으로
“허가를 받지 않은 제3자에게 유출되었을 때에는 부정경쟁방지법, 형법, 민법 등 관련법규에 따라 엄한 법적 제재를 당할 수가 있음을 고지합니다."
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6
Stripping Properties
SST / 21SST
PK-1540
PK-1550
6 sst
35 M
49, MS
Stripping Properties
7 sst
37 ML
54, ML
(sec., size)
8 sst
40 L
59, ML
NaOH 3.0 wt%
9 sst
42 L
63, ML
10 sst
46 L
69, ML
Stripping time (sec.)
80
PK-1540
PK-1550
60
40
20
5
6
7
8
9
10
11
Sensitiv ity (21/sst)
Test Conditions
• Pretreatment  Lamination  Exposure  Developing  Stripping
• Stripping condition: 50oC, NaOH 3.0 wt%
• Test method: Dipping Method
• Stripped particle size: S (small, lower than 0.5cm), M (medium, 0.5~2cm), L (large, 2~5cm), LL (extra large, larger than 5cm)
"본 문서는 코오롱인더스트리㈜의 영업비밀 등이 포함된 중요문서이므로 취급에 주의하여야 하고, 본사의 사전동의 없이 무단 유출, 전송 등 기타의 방법으로
“허가를 받지 않은 제3자에게 유출되었을 때에는 부정경쟁방지법, 형법, 민법 등 관련법규에 따라 엄한 법적 제재를 당할 수가 있음을 고지합니다."
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7
SEM Images
(Line/space = 40/40㎛, x400)
PK-1540, 7sst /21sst
PK-1540, 8sst /21sst
PK-1540, 9sst /21sst
(Line/space = 40/40㎛, x200)
PK-1540, 7sst /21sst
PK-1540, 8sst /21sst
PK-1540, 9sst /21sst
"본 문서는 코오롱인더스트리㈜의 영업비밀 등이 포함된 중요문서이므로 취급에 주의하여야 하고, 본사의 사전동의 없이 무단 유출, 전송 등 기타의 방법으로
“허가를 받지 않은 제3자에게 유출되었을 때에는 부정경쟁방지법, 형법, 민법 등 관련법규에 따라 엄한 법적 제재를 당할 수가 있음을 고지합니다."
[Confidential : Properties of KOLON Inds, Inc.]
8
SEM Images
(Line/space = 50/50㎛, x350)
PK-1550, 8sst /21sst
PK-1550, 9sst /21sst
PK-1550, 10sst /21sst
(Line/space = 50/50㎛, x200)
PK-1550, 8sst /21sst
PK-1550, 9sst /21sst
PK-1550, 10sst /21sst
"본 문서는 코오롱인더스트리㈜의 영업비밀 등이 포함된 중요문서이므로 취급에 주의하여야 하고, 본사의 사전동의 없이 무단 유출, 전송 등 기타의 방법으로
“허가를 받지 않은 제3자에게 유출되었을 때에는 부정경쟁방지법, 형법, 민법 등 관련법규에 따라 엄한 법적 제재를 당할 수가 있음을 고지합니다."
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9
Scum / Sludge Test
PK-1540
Defoamer(%)
Filtering Time (50ml)
Filtering Time (100ml)
Sludge Weight
(300ml filtering)
SCUM
NO
28 Sec.
57 Sec.
0.20 g
NO
<Sludge/Scum Test condition>
• Filter paper : ADVANTEC-5A
• Filtering Time : Measuring after being filtered 50ml and 100ml
• Sludge Weight : Measuring sludge weight after being filtered 300ml
• Scum Generator : Running Time is 4hrs
• temp: 30oC
"본 문서는 코오롱인더스트리㈜의 영업비밀 등이 포함된 중요문서이므로 취급에 주의하여야 하고, 본사의 사전동의 없이 무단 유출, 전송 등 기타의 방법으로
“허가를 받지 않은 제3자에게 유출되었을 때에는 부정경쟁방지법, 형법, 민법 등 관련법규에 따라 엄한 법적 제재를 당할 수가 있음을 고지합니다."
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10
Scum / Sludge Test
1. Test condition.
* Scum & sludge test : Na2CO3 1.0 wt% , 300mL , DFR amount 1㎡/L , 30℃, 300rpm
2. Test method.
2
Immerse 1 m /L of
DFR to 1.0 wt% of
developing solution(Na2CO3)
Mechanical Stirring for 1 hrs
Under yellow room
Homo-mixer Stirring for 4 hrs
(RPM : 3000, Temp : 30℃)
After holding 1day,
Check the sludge
Occurred &
Filtering test
"본 문서는 코오롱인더스트리㈜의 영업비밀 등이 포함된 중요문서이므로 취급에 주의하여야 하고, 본사의 사전동의 없이 무단 유출, 전송 등 기타의 방법으로
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General Process Guideline
Process
Best Condition
Recommendation
Roll Temp. (°C)
110
110 ± 10
Speed (m/min)
2.0
2.0 ± 1.0
Roll Pressure (Kgf/cm2)
4.0
3.5 ± 1.5
Holding Time
Time (min)
15min~4hrs
15min – 8hrs
Under Yellow Light
Exposure
Exposure Energy (mJ/cm2)
Step Held
8/21ST
Step Held
7~9/21ST
Without Artwork
Resist Step
Holding Time
Time (min)
1hrs
15min – 24hrs
Under Yellow Light
Chemical
1.0wt%
1.0 ± 0.2wt% Na2CO3
Temp. (°C)
30
30 ± 2
Break Point
50%
50~70%
Spray Pressure (Kgf/cm2)
2.0
2.0 ± 0.5
Chemical
3
2 - 4wt% NaOH
Temp. (°C)
50
45-55
Break Point
50
40~60%
Lamination
Development
Stripping
Specification
Exit Temp.: 50  10 °C
-
-
* Clean Room: 20~22 °C, 50 ± 10 % RH
"본 문서는 코오롱인더스트리㈜의 영업비밀 등이 포함된 중요문서이므로 취급에 주의하여야 하고, 본사의 사전동의 없이 무단 유출, 전송 등 기타의 방법으로
“허가를 받지 않은 제3자에게 유출되었을 때에는 부정경쟁방지법, 형법, 민법 등 관련법규에 따라 엄한 법적 제재를 당할 수가 있음을 고지합니다."
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